Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения" ОАО "НИИПМ" (RU)
Изобретатели:
Комаров Валерий Николаевич (RU) Комаров Николай Валерьевич (RU) Сергеев Сергей Алексеевич (RU)
Патентообладатели:
Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения" ОАО "НИИПМ" (RU)
Реферат
Изобретение относится к производству изделий электронной техники и может быть использовано для двухсторонней обработки стеклянных подложек квадратной или прямоугольной формы, используемых, например, в производстве при изготовлении фотошаблонов, а также жидкокристаллических экранов (ЖКЭ). Устройство содержит разгрузочную и приемную кассеты для подложек, установленные соответственно на механизмах их шагового перемещения, механизм выгрузки подложек из кассеты, механизм загрузки обработанных подложек в кассету, технологические блоки гидромеханической очистки и мегазвуковой очистки с держателями подложек, первый и второй транспортеры с носителями подложек. Устройство снабжено вторым блоком гидромеханической очистки подложек и блоком сушки подложек с помощью нагревателя с держателями подложек. Носители транспортеров выполнены в виде штанги с двумя вертикальными выступами, на каждом из которых на соответствующих осях установлен вертикальный ряд роликов с круговыми канавками и заходными фасками и с регулируемым расстоянием между рядами. Центры осей симметрии роликов лежат на одной вертикальной оси симметрии соответствующего ряда, а штанга снабжена фиксирующим устройством, смещенным относительно оси симметрии расположения вертикальных выступов, при этом выступы штанги с рядами роликов снабжены защитным кожухом. Кроме того, держатели подложек всех технологических блоков выполнены также в виде двух вертикальных рядов роликов аналогично рядам роликов на носителях транспортеров. Устройство обеспечивает обработку подложек больших размеров, повышение качества обработки и производительности. 1 з.п. ф-лы, 19 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента