Общество с ограниченной ответственностью "Сенсор" (RU)
Изобретатели:
Лобцов Виктор Александрович (RU) Щепихин Александр Иванович (RU)
Патентообладатели:
Общество с ограниченной ответственностью "Сенсор" (RU)
Реферат
Изобретение относится к технике полупроводниковых приборов, в частности к изготовлению тензодатчиков механических величин на основе тензочувствительных полупроводниковых резисторов. Тензодатчик согласно изобретению включает покрытое изоляционным слоем основание, состоящее из недеформируемой части и упругодеформируемой мембраны, на которой расположен мост Уитстона, выполненный из соединенных проводниками полупроводниковых тензочувствительных резисторов, включающих слой полупроводника, снабженного на концах контактами из слоя металла, расположенного на части поверхности полупроводника и изоляционном слое, при этом тензодатчик содержит дополнительный мост Уитстона, который расположен на недеформируемой части основания, причем проводники и контакты выполнены трехслойными, при этом их первый слой, расположенный на части поверхности полупроводника и изоляционном слое, выполнен из алюминия, срединный слой выполнен из сплава алюминия с никелем или кобальтом, а внешний слой выполнен из никеля или кобальта. Изобретение обеспечивает повышение точности и чувствительности измерений, снижение погрешности измерений, более низкий уровень собственных шумов тензодатчика, обеспечение возможности быстрых измерений давления при резких изменениях температуры окружающей среды, повышение стабильности электрических параметров во времени и повышение устойчивости к воздействию агрессивных сред. 7 з.п. ф-лы, 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента