RU 2297681 C1, 20.04.2007. RU 2003130023 A, 27.04.2005. RU 2082187 C1, 20.06.1997. SU 1622908 A1, 23.01.1991. SU 785699 A1, 07.12.1980. SU 1492384 A1, 07.07.1989. US 5684852 A, 04.11.1997. US 5594773 A, 14.01.1997.
Имя заявителя:
Учреждение Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской Академии Наук (RU)
Изобретатели:
Аристов Виталий Васильевич (RU) Шабельников Леонид Григорьевич (RU)
Патентообладатели:
Учреждение Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской Академии Наук (RU)
Реферат
Использование: для изготовления рентгеновских преломляющих линз. Сущность заключается в том, что изготавливают матрицу линзы из материала, способного к фотополимеризации, формированием одной или нескольких линз с требуемым фокусным расстоянием, учитывая число и геометрические характеристики этих линз, характеристики материала данных линз и материала оправки, а также динамический режим, на котором осуществляется формирование матрицы линзы, при этом с помощью полученной матрицы образуют одно или несколько оснований для линз, для чего вносят материал, не имеющий адгезии к материалу матрицы, в матрице переводят материал основания в твердую фазу, отделяют полученное основание от матрицы, размещают его в ванне с жидким фотополимером на поршне с прецизионным ходом линейного смещения, затем проводят фотополимеризацию через набор масок с кольцевыми просветами и радиальными щелями, где внутренний радиус кольцевого просвета определяется как и внешний радиус как , где m - четное число, сдвигают основание на величину, равную четному числу длин сдвига фазы L=m/, операции экспонирования через последующие маски и сдвига повторяют до получения заданного числа сегментов, отделяют линзу от основания и проводят сборку линзы в держатель. Технический результат: улучшение фокусирующих свойств линз с профилем вращения. 6 з.п. ф-лы, 4 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента