

	Главная Патентный отдел Технологии Справочник ГРНТИ Прием Наши координаты Обратная связь

Поиск патентов

Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

Патентный отдел

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

ОСАЖДЕНИЕ ИМПУЛЬСНЫМ МАГНЕТРОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ С ПРЕДЫОНИЗАЦИЕЙ

Номер публикации патента: 2364661

Вид документа:	C2
Страна публикации:	RU
Рег. номер заявки:	2006133826/02

Получить полное описание патента

Редакция МПК:	6
Основные коды МПК:	C23C014/35 C23C014/02 C23C014/54
Аналоги изобретения:	WO 02103078 A1, 27.12.2002. WO 03079397 A, 25.09.2003. RU 2058429 C1, 20.04.1996. WO 03021001 A1, 13.03.2003. JP 1118987 A, 13.07.1999.

Имя заявителя:	МАТЕРЬЯ НОВА АСБЛ (BE), САНТР НАСЬОНАЛЬ ДЕ ЛА РЕШЕРШ СЬЕНТИФИК (СНРС) (FR), ЮНИВЕРСИТЕ ПАРИ-СЮД (FR)
Изобретатели:	ГАНЧИУ-ПЕТКУ Михай (RO) ЭКК Мишель (BE) ДОШО Жан-Пьер (BE) КОНСТАНТИНИДИС Стефано (BE) БРЕТАНЬ Жан (FR) ДЕ ПУККЕ Людовик (FR) ТУЗО Мишель (FR)
Патентообладатели:	МАТЕРЬЯ НОВА АСБЛ (BE) САНТР НАСЬОНАЛЬ ДЕ ЛА РЕШЕРШ СЬЕНТИФИК (СНРС) (FR) ЮНИВЕРСИТЕ ПАРИ-СЮД (FR)
Приоритетные данные:	22.03.2004 EP 04447072.2

Реферат

Изобретение относится к способу осаждения вещества на подложку, импульсному источнику питания для магнетронного реактора и магнетронному реактору. Осуществляют распыление вещества на подложку в магнетронном реакторе. Перед подачей каждого импульса основного напряжения газ предыонизируют для обеспечения генерации импульсов тока. Время спада указанных импульсов тока после отсечки импульсов основного напряжения меньше 5 мкс. Импульсный источник питания содержит средства генерации импульсов основного напряжения, средства генерации управляющих импульсов и коммутирующие средства. В результате достигается эффективная ионизация распыляемых паров вещества. 3 н. и 14 з.п. ф-лы, 18 ил., 1 табл.

Вернуться к списку

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь

Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"