Изобретение относится к зажимным устройствам для закрепления обрабатываемого тела и может быть использовано при механической обработке или при проверке элементов устройств. Зажимное устройство содержит опору, выполненную с возможностью поддержания обрабатываемого тела, которая имеет опорную поверхность, покрытие для покрытия опорной поверхности, которое содержит керамику, и крепежный элемент, выполненный с возможностью закрепления обрабатываемого тела при помощи опоры. При этом покрытие осаждено электростатическим способом, имеет шероховатость Ra 0,4 мкм или более и 3,2 или менее. Технический результат - устранение быстрого скачкообразного перемещения обрабатываемого тела. 4 з.п. ф-лы, 5 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента