

	Главная Патентный отдел Технологии Справочник ГРНТИ Прием Наши координаты Обратная связь

Поиск патентов

Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

Патентный отдел

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ ДИФФУЗИИ ФОСФОРА ИЗ ТВЕРДОГО ПЛАНАРНОГО ИСТОЧНИКА

Номер публикации патента: 2359355

Вид документа:	C1
Страна публикации:	RU
Рег. номер заявки:	2008109520/28

Получить полное описание патента

Редакция МПК:	7
Основные коды МПК:	H01L021/225
Аналоги изобретения:	SU 1829758 A1, 10.05.1995. SU 1556432 A1, 09.01.1995. RU 2094901 C1, 27.10.1997. RU 2111575 C1, 20.05.1998. RU 2005120614 A, 10.01.2007. US 6461948 B1, 08.10.2002.

Имя заявителя:	ДАГЕСТАНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ (ДГТУ) (RU)
Изобретатели:	Исмаилов Тагир Абдурашидович (RU) Шангереева Бийке Алиевна (RU) Шахмаева Айшат Расуловна (RU)
Патентообладатели:	ДАГЕСТАНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ (ДГТУ) (RU)

Реферат

Изобретение относится к технологии полупроводниковых приборов, в частности может быть использовано для глубокой диффузии фосфора при формировании диффузионных кремниевых структур. Способ диффузии фосфора из твердого планарного источника включает формирование диффузионных кремниевых структур с использованием твердого планарного источника фосфора (ТПДФ).

Вернуться к списку

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь

Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"