|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЛИТОГРАФИИ С ПОМОЩЬЮ ИЗЛУЧЕНИЯ В ДАЛЕКОЙ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОЙ ОБЛАСТИ СПЕКТРА |  |
Номер публикации патента: 2359303 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G03F007/20 | | Аналоги изобретения: | ЕР 1320913 В1, 25.06.2003. US 6307913 А, 23.10.2001. JP 08213192 А, 20.08.1996. WO 0137618 А, 25.05.2001. RU 2071142 А, 27.12.1996. |
| Имя заявителя: | КОММИССАРИАТ А Л' ЭНЕРЖИ АТОМИК (FR) | | Изобретатели: | КОРМОН Филипп (FR)
ТРО Пьер-Ив (FR)
ВАШЕ Шарли (FR) | | Патентообладатели: | КОММИССАРИАТ А Л' ЭНЕРЖИ АТОМИК (FR) |
Реферат | |
Способ фотолитографии при помощи излучения в далекой ультрафиолетовой области спектра предназначен для нанесения рисунка на объект (OBJ) и содержит плоскую поверхность, расположенную перпендикулярно излучению и содержащую светочувствительную зону (PR). Объект может перемещаться поперечно относительно этого излучения.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента