|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТАНОВКА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ СТЕРЖНЕЙ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2357024 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C30B028/14 C30B029/06 C01B033/035 | | Аналоги изобретения: | RU 2205905 C1, 10.06.2003. GB 914042 A, 28.12.1962. JP 1208312 A, 22.08.1989. |
| Имя заявителя: | Федеральное государственное унитарное предприятие "ГОРНО-ХИМИЧЕСКИЙ КОМБИНАТ" (RU) | | Изобретатели: | Гаврилов Петр Михайлович (RU)
Ревенко Юрий Александрович (RU)
Бараков Борис Николаевич (RU)
Прочанкин Александр Петрович (RU)
Муравицкий Степан Александрович (RU)
Стенин Александр Александрович (RU)
Никулин Анатолий Иванович (RU) | | Патентообладатели: | Федеральное государственное унитарное предприятие "ГОРНО-ХИМИЧЕСКИЙ КОМБИНАТ" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению исходного поликристаллического кремния осаждением на нагретые основы в процессе водородного восстановления хлорсиланов. Установка содержит разъемный реактор 1, верхняя неподвижная часть 2 которого с размещенными на ее верхней стенке токовводами 6 с узлами крепления 7 основ 8, 9 установлена на вертикальной стойке 3 с образованием под реактором погрузо-разгрузочной зоны и отделена от нижней подвижной части го
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента