|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ЧОХРАЛЬСКОГО |  |
Номер публикации патента: 2355834 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C30B015/14 C30B029/06 | | Аналоги изобретения: | RU 2231582 С1, 27.06.2004. US 6197111 В1, 06.03.2001. US 6338757 В1, 15.01.2002. JP 64061382 А, 08.03.1989. |
| Имя заявителя: | Государственное научное учреждение "Институт химических проблем микроэлектроники" (ГНУ ИХПМ) (RU) | | Изобретатели: | Простомолотов Анатолий Иванович (RU)
Верезуб Наталия Анатольевна (RU)
Жвирблянский Вилен Юльевич (RU)
Мильвидский Михаил Григорьевич (RU) | | Патентообладатели: | Государственное научное учреждение "Институт химических проблем микроэлектроники" (ГНУ ИХПМ) (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области получения монокристаллов полупроводниковых материалов. Устройство включает камеру 1 выращивания монокристалла с расположенным в ней тиглем 4 для получения расплава, средство вытягивания из расплава монокристалла кремния и экранирующее приспособление, расположенное соосно выращиваемому монокристаллу, выполненное в виде двойного экрана - внутреннего 12 и внешнего 13, при этом внешний экран имеет форму, повторяющую или близкую к форме кварцевого тигля, а внутренний -
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента