|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ОЧИСТКИ ТРИФТОРИДА АЗОТА |  |
Номер публикации патента: 2350552 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C01B021/083 | | Аналоги изобретения: | RU 2206499 С1, 20.06.2003. RU 2095123 С1, 10.11.1997. Химическая энциклопедия. - М.: Большая Российская энциклопедия, 1998, т.1, с.43. ДАНИЕЛЬС Ф., АЛЬБЕРТИ Р. Физическая химия. - М.: Высшая школа, 1967, с.58. JP 10259011 А, 29.09.1998. US 5069887 А, 03.12.1991. |
| Имя заявителя: | Закрытое акционерное общество Астор Электроникс (RU) | | Изобретатели: | Виноградов Дмитрий Викторович (RU)
Зайцев Сергей Александрович (RU)
Барабанов Валерий Георгиевич (RU) | | Патентообладатели: | Закрытое акционерное общество Астор Электроникс (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к способу очистки трифторида азота от инертных примесей и тетрафторида углерода адсорбционным способом. Трифторид азота используется в химической промышленности как фторирующий агент и окислитель для горючего, в микроэлектронной промышленности в процессах сухого травления. Способ очистки трифторида азота адсорбцией трифторида азота твердым сорбентом и последующая его десорбция, при этом согласно изобретению стадию адсорбции проводят при температуре от -40°С и выше, десо
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента