|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| НАНОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКАЯ СТРУКТУРА (ВАРИАНТЫ) И СПОСОБ ЕЕ ПОЛУЧЕНИЯ (ВАРИАНТЫ) |  |
Номер публикации патента: 2349542 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | B82B001/00 | | Аналоги изобретения: | WO 2007/030423 А2, 15.03.2007. WO 02/080360 A1, 10.10.2002. WO 01/03208 A1, 11.01.2001. RU 2003130408 A, 10.04.2005. RU 2238239 C1, 20.10.2004. |
| Имя заявителя: | Хартов Станислав Викторович (RU),Неволин Владимир Кириллович (RU) | | Изобретатели: | Хартов Станислав Викторович (RU)
Симунин Михаил Максимович (RU)
Неволин Владимир Кириллович (RU) | | Патентообладатели: | Хартов Станислав Викторович (RU)
Неволин Владимир Кириллович (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к микро- и наноэлектромеханическим устройствам и к способу их изготовления. В одном из вариантов реализации изобретения в основе получения наноэлектромеханической структуры лежат механизмы самоорганизации и самосовмещения, в результате чего ее существенные геометрические параметры не испытывают ограничения со стороны возможностей традиционной фотолитографии.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента