|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ СТЕХИОМЕТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК БИНАРНЫХ СОЕДИНЕНИЙ |  |
Номер публикации патента: 2342469 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C016/44 H01L021/205 | | Аналоги изобретения: | US 6270572 А, 07.08.2001. RU 2046456 C1, 20.10.1995. RU 94046004 A1, 27.09.1996. GB 1077116 A, 26.07.1967. US 5123995 A, 23.06.1992. JP 4167420 A, 15.06.1992. |
| Имя заявителя: | Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Санкт-Петербургский государственный университет (СПбГУ) (RU) | | Изобретатели: | Дрозд Виктор Евгеньевич (RU) | | Патентообладатели: | Федеральное государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Санкт-Петербургский государственный университет (СПбГУ) (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области полупроводниковой нанотехнологии, в частности к области тонкопленочного материаловедения, и может быть успешно использовано в современной технике, особенно в быстро развивающейся технологии интегральных схем. Для нанесения тонких стехиометрических пленок бинарного соединения CdTe проводят следующие технологические операции.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента