На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ МЕТОДОМ ОСАЖДЕНИЯ ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ В ВАКУУМЕ | |
Номер публикации патента: 2341587 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C23C014/35 | Аналоги изобретения: | US 5425861 A, 20.06.1995. RU 2070943 C1, 27.12.1996. RU 2211881 C2, 10.09.2002. US 5298048 A, 29.03.1994. JP 04-272314 A, 05.04.1994. |
Имя заявителя: | ППГ ИНДАСТРИЗ ОГАЙО, ИНК. (US) | Изобретатели: | ТИЛЬ Джеймс П. (US) | Патентообладатели: | ППГ ИНДАСТРИЗ ОГАЙО ИНК. (US) |
Реферат | |
Изобретение относится к способам нанесения покрытия на подложку магнетронным распылением и может найти применение в автомобилестроении, изготовлении бытовой техники и других отраслях промышленности. Зона устройства для нанесения покрытий состоит из, по меньшей мере, двух отсеков, первый из которых содержит первую мишень, а второй - вторую мишень.
|