|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОЧНОГО ПОКРЫТИЯ |  |
Номер публикации патента: 2339735 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/35 C23C014/48 B82B003/00 | | Аналоги изобретения: | RU 2141004 С1, 10.11.1999. RU 2058429 С1, 20.04.1996. RU 2138094 С1, 20.09.1999. GB 2258343 А, 03.02.1993. ЕР 0421015 А, 10.04.1991. |
| Имя заявителя: | Закрытое акционерное общество "Нано-Плазменные Технологии" (ЗАО "НАНПЛАТЕК") (RU) | | Изобретатели: | Скворцов Игорь Николаевич (RU)
Шарипов Эрнст Исагалиевич (RU)
Атаманов Михаил Владимирович (RU)
Крюков Владимир Николаевич (RU)
Мозгрин Дмитрий Витальевич (RU)
Обрезков Олег Иосифович (RU)
Фролов Константин Васильевич (RU)
Ходаченко Георгий Владимирович (RU) | | Патентообладатели: | Закрытое акционерное общество "Нано-Плазменные Технологии" (ЗАО "НАНПЛАТЕК") (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к способам нанесения пленочных покрытий. Способ включает подачу рабочего газа в вакуумную камеру, импульсную генерацию потока плазмы и пучка высокоэнергетических ионов и поочередное их воздействие на подложку через временной промежуток. Импульсный поток плазмы создают путем зажигания сильноточного высоковольтного диффузионного разряда, который формируют путем пропускания через стационарную плазму магнетронного разряда импульсов тока длительностью 10-6.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента