|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОДЛОЖКИ С РЕЗИСТОМ |  |
Номер публикации патента: 2334261 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G03F007/09 H01J037/317 G03F007/20 | | Аналоги изобретения: | M.GENTILI ЕТ AL. Journal of Vacuum Science and Technology: part B. - N-W, 1994, bd.12, 6, p.3954-3958. US 2001/0019802 A1, 06.09.2001. US 3961102 A, 01.06.1976. SU 1829679 A, 20.05.1995. RU 97110123 A, 10.06.1999. |
| Имя заявителя: | ГИЗЕКЕ УНД ДЕВРИЕНТ ГМБХ (DE) | | Изобретатели: | КАУЛЕ Виттих (DE) | | Патентообладатели: | ГИЗЕКЕ УНД ДЕВРИЕНТ ГМБХ (DE) |
Реферат | |
Изобретение относится к способу изготовления подложки, снабженной слоем резиста с рельефной структурой, воспроизводящей дифракционную структуру. К слою резиста по меньшей мере на отдельных участках примыкает проводящий слой, который при экспонировании слоя резиста электронным лучом рассеивает первичные электроны и/или эмиттирует вторичные электроны.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента