|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ОБРАБОТКА ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ И ИСПОЛЬЗУЕМАЯ ПРИ ЭТОМ СМЕСЬ |  |
Номер публикации патента: 2329298 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C11D007/18 C11D007/32 H01L021/306 | | Аналоги изобретения: | US 6228823 B1, 08.05.2001. US 5290361 A, 01.03.1994. ЕР 1091395 А1, 11.04.2001. US 5962384 A, 05.10.1999. SU 1542332 A1, 20.02.1996. |
| Имя заявителя: | БАСФ Акциенгезельшафт (DE) | | Изобретатели: | БЁРНЕР Марк (DE)
КИЛИАН Гернод (DE)
РАЙН Рудольф (DE)
АРНОЛЬД Луция (DE)
ШУСТЕР Михаэль (DE)
ЛЕОПОЛЬД Александер (DE) | | Патентообладатели: | БАСФ Акциенгезельшафт (DE) |
Реферат | |
Настоящее изобретение касается композиции для обработки поверхности и способа обработки поверхности субстрата, используя эту композицию. Сущность изобретения: очищающий раствор содержит воду, перекись водорода, щелочное соединение и 2,2-бис-(гидроксиэтил)-(иминотрис)-(гидроксиметил)метан в качестве хелатирующей добавки.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента