|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ТИГЕЛЬ ДЛЯ ЭПИТАКСИИ КАРБИДА КРЕМНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2324019 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C30B023/00 C30B029/36 | | Аналоги изобретения: | US 2005205003 A1, 22.09.2005. SU 882247 A1, 20.11.1996. JP 2001072490 A, 21.03.2001. DE 10050767 A1, 10.05.2001. |
| Имя заявителя: | Билалов Билал Аругович (RU) | | Изобретатели: | Билалов Билал Аругович (RU)
Сафаралиев Гаджимет Керимович (RU)
Гитикчиев Магомед Ахмедович (RU) | | Патентообладатели: | Билалов Билал Аругович (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к материалам электронной техники, в частности к технологии производства монокристаллов карбида кремния эпитаксией из газовой фазы. Тигель содержит корпус и крышку с пьедесталом, при этом крышка снабжена концентрическими пазами, в которые вставляются теплопередающие элементы, которые увеличивают температуру части поверхности крышки, на которой растут поликристаллы, что замедляет их рост.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента