Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Выставки Бизнес Карта сайта
 
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ АТОМНО - ГЛАДКОЙ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖКИ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ

Номер публикации патента: 2319798

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 2006116830/15 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: C30B033/10   C30B033/02   C30B029/42   H01L021/302    
Аналоги изобретения: Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников. /Под ред. Б.Д.Луфт. - М.: Радио и связь, 1982, с.40, 50-52, 62-63. JP 60196951 А, 05.10.1985. НАШЕЛЬСКИЙ А.Я. Технология спецматериалов электронной техники. - М.: Металлургия, 1993, с.265-268. 

Имя заявителя: Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Воронежская государственная технологическая академия (RU) 
Изобретатели: Безрядин Николай Николаевич (RU)
Котов Геннадий Иванович (RU)
Стародубцев Александр Александрович (RU)
Стрыгин Владимир Дмитриевич (RU)
Арсентьев Иван Никитич (RU) 
Патентообладатели: Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Воронежская государственная технологическая академия (RU) 

Реферат


Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к способам приготовления атомно-гладких поверхностей полупроводников. Способ включает химико-динамическую полировку поверхности подложки в полирующем травителе, содержащем серную кислоту, перекись водорода и воду в течение 8÷10 мин, снятие слоя естественного оксида в водном растворе соляной кислоты до проявления гидрофобных свойств чистой поверхности подложки, промывку в деионизованной воде и сушку в центрифуге.


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.222
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"