На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НА ПОДЛОЖКУ И МОДУЛЬ ДЛЯ ЭТОЙ УСТАНОВКИ | |
Номер публикации патента: 2316614 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C23C014/56 | Аналоги изобретения: | RU 2161075 C2, 27.12.2000. SU 1153578 A, 25.07.1995. DE 19831032 A, 20.01.2000. US 2002096114 A, 25.07.2002. JP 04226049 A, 14.08.1992. JP 11145081 A, 28.05.1999. JP 2005-008919 A, 13.01.2005. |
Имя заявителя: | ЭППЛАЙД МАТИРИАЛЗ ГМБХ ЭНД КО.КГ (DE) | Изобретатели: | БУХБЕРГЕР Ханс (DE) ГАЙСС Андреас (DE) КРЕМПЕЛЬ-ХЕССЕ Йорг (DE) ХААС Дитер (DE) | Патентообладатели: | ЭППЛАЙД МАТИРИАЛЗ ГМБХ ЭНД КО.КГ (DE) |
Реферат | |
Изобретение относится к установке для нанесения покрытия на подложку и может найти применение при производстве экранов дисплеев. Установка содержит напылительную камеру модульной конструкции. Каждый модуль 1 состоит из секции камеры 2, первой стойки 3, подвижно установленной в секции камеры 2 или на ней, и второй стойки 4, подвижно установленной на первой стойке 3.
|