|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| КОМПОЗИЦИЯ И СПОСОБ УДАЛЕНИЯ ОСТАТОЧНЫХ ПОЛИМЕРОВ С АЛЮМИНИЙСОДЕРЖАЩИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ |  |
Номер публикации патента: 2313155 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/3213 | | Аналоги изобретения: | EP 0811666 А, 10.12.1997. US 6273959 В1, 14.08.2001. WO 97/36209 A1, 02.10.1997. RU 2139593 C1, 10.10.1999. |
| Имя заявителя: | БАСФ Акциенгезельшафт (DE) | | Изобретатели: | МЕЛЛИС Раймунд (DE)
БЁРНЕР Марк (DE)
АРНОЛЬД Луция (DE)
БАРКО Андреа (DE)
РАЙН Рудольф (DE) | | Патентообладатели: | БАСФ Акциенгезельшафт (DE) |
Реферат | |
Изобретение относится к композиции для удаления так называемых "отложений на стенках" с металлических поверхностей, в особенности с алюминия или алюминийсодержащих поверхностей, в частности в процессе производства полупроводниковых элементов. Сущность изобретения: композиция для удаления остаточных полимеров с алюминийсодержащих поверхностей включает H2SiF6 и/или HBF4 в общем количестве 0,001-0,05 мас.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента