|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ГАЗ ДЛЯ ПЛАЗМЕННОЙ РЕАКЦИИ, СПОСОБ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ, СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ИЛИ ЭЛЕКТРОННОЙ ДЕТАЛИ, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКОЙ ФТОРУГЛЕРОДНОЙ ПЛЕНКИ И СПОСОБ ОЗОЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2310948 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/3065 | | Аналоги изобретения: | JP 09-191002 А, 22.07.1997. WO 00/59021 А, 05.10.2000. ЕР 499984 А, 26.08.1992. RU 2024991 С1, 15.12.1994. |
| Имя заявителя: | ЗЕОН КОРПОРЕЙШН (JP) | | Изобретатели: | СУГАВАРА Мицуру (JP)
ЯМАДА Тосиро (JP)
СУГИМОТО Тацуя (JP)
ТАНАКА Кимиаки (JP) | | Патентообладатели: | ЗЕОН КОРПОРЕЙШН (JP) |
Реферат | |
Изобретение относится к газу для плазменной реакции, его получению и использованию. Сущность изобретения: газ для плазменной реакции содержит перфторалкин цепочечной структуры, имеющий 5 или 6 атомов углерода, предпочтительно перфтор-2-пентин. Этот газ для плазменной реакции является пригодным для сухого травления с целью формирования прецизионной структуры, для плазменного химического осаждения из паровой фазы, для формирования тонкой пленки и для плазменного химического озоления.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента