|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЧИСТОТЫ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖЕК |  |
Номер публикации патента: 2307339 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01N019/08 | | Аналоги изобретения: | SU 1821688 A1, 15.06.1993. SU 1784868 A1, 30.12.1992. SU 1260752 A1, 30.09.1986. SU 1281881 A1, 07.01.1987. |
| Имя заявителя: | Институт систем обработки изображений Российской академии наук (ИСОИ РАН) (RU) | | Изобретатели: | Казанский Николай Львович (RU)
Колпаков Всеволод Анатольевич (RU)
Кричевский Сергей Васильевич (RU)
Ивлиев Николай Александрович (RU) | | Патентообладатели: | Институт систем обработки изображений Российской академии наук (ИСОИ РАН) (RU) |
Реферат | |
Изобретение может быть использовано в микроэлектронике при производстве интегральных микросхем на активных и пассивных подложках и в дифракционной оптике при производстве элементов дифракционной оптики. При осуществлении способа производят сдвиг подложки-зонда по поверхности исследуемой подложки, которые расположены в подложкодержателях под углом друг к другу.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента