|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СИСТЕМА ТОКОПРИЕМНИКА |  |
Номер публикации патента: 2305718 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C016/46 | | Аналоги изобретения: | WO 0238839 А, 16.05.2002. US 5792257 A, 11.08.1998. US 4794217 A, 27.12.1988. WO 0238838 А, 16.05.2002. SU 1513949 A1, 10.03.1995. RU 2107970 C1, 27.03.1998. RU 2146304 C1, 10.03.2000. |
| Имя заявителя: | ЕТК ЭПИТАКСИАЛ ТЕКНОЛОДЖИ СЕНТЕР СРЛ (IT) | | Изобретатели: | МАККАЛЛИ Джиакомо Николао (IT)
КОРДИНА Олле (US)
ВАЛЕНТЕ Джианлука (IT)
КРИППА Данило (IT)
ПРЕТИ Франко (IT) | | Патентообладатели: | ЕТК ЭПИТАКСИАЛ ТЕКНОЛОДЖИ СЕНТЕР СРЛ (IT) |
Реферат | |
Изобретение относится к системе токоприемника для устройства обработки подложек и/или пластин, снабженной камерой обработки, ограниченной, по меньшей мере, двумя стенками и, по меньшей мере, одним нагревательным соленоидом. Система токоприемника содержит, по меньшей мере, один токоприемный элемент, ограниченный наружной поверхностью и выполненный из электрически проводящего материала, подходящего для нагревания посредством электромагнитной индукции; токоприемный элемент является полым.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента