|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СИСТЕМА ПОДАЧИ И РЕЦИРКУЛЯЦИОННАЯ СИСТЕМА РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ЖИДКОСТИ ВЫСОКОЙ СТЕПЕНИ ЧИСТОТЫ |  |
Номер публикации патента: 2302653 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G05D007/06 G01F001/84 | | Аналоги изобретения: | WO 01/61285 A1, 23.08.2001. WO 01/65213 A1, 07.09.2001. JP 5-26709 A, 02.02.1993. SU 1793224 A1, 07.02.1993. |
| Имя заявителя: | ЭМЕРСОН ЭЛЕКТРИК КО. (US) | | Изобретатели: | САНД Уэсли Е. (US)
ДИЛЛЕ Джозеф С. (US)
БАРГЕР Майкл Дж. (US)
ПОЛАС Гари Е. (US) | | Патентообладатели: | ЭМЕРСОН ЭЛЕКТРИК КО. (US) |
Реферат | |
Изобретение может быть использовано при изготовлении полупроводников для подвода сверхчистых жидкостей к поверхности подложки в процессах химико-механической планаризации, фотолитографии, нанесения диэлектриков. Система подачи содержит резервуар для жидкости, с впускным и выпускным отверстиями которого соединены, соответственно, первое и второе устройства регулирования потока и датчики давления.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента