|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛИРОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ |  |
Номер публикации патента: 2295798 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/304 B24B001/00 | | Аналоги изобретения: | RU 2002388 C1, 30.10.1993. SU 1829770 A1, 10.04.1996. SU 1701759 A1, 30.12.1991. US 3979239 А, 30.12.1974. |
| Имя заявителя: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный завод "Пульсар" (RU) | | Изобретатели: | Енишерлова-Вельяшева Кира Львовна (RU)
Савушкин Юрий Александрович (RU)
Буробин Валерий Анатольевич (RU)
Русак Татьяна Федоровна (RU)
Тригубович Татьяна Николаевна (RU) | | Патентообладатели: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный завод "Пульсар" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов для обработки обратной стороны структур с готовыми чипами, а также при изготовлении исходных пластин-подложек кремния, германия и др. Обрабатываемые пластины закрепляют на головке. Сообщают вращение ей и инструменту, а в зону обработки подают полирующую смесь.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента