На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
УСТАНОВКА ДЛЯ ВАКУУМНОЙ ИОННО - ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТЕЙ | |
Номер публикации патента: 2294395 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C23C014/34 C23C014/56 | Аналоги изобретения: | RU 2095467 C1, 10.11.1997. RU 2203979 C2, 10.05.2003. RU 2036246 C1, 27.05.1995. RU 2161075 C2, 27.12.2000. SU 1153578 A2, 25.07.1995. JP 62192580 A, 24.08.1987. US 4357365 A, 02.11.1982. |
Имя заявителя: | Открытое акционерное общество "Национальный институт авиационных технологий" (ОАО "НИАТ") (RU) | Изобретатели: | Петров Леонид Михайлович (RU) Плихунов Виталий Валентинович (RU) Матвеев Николай Валентинович (RU) Гаврилов Александр Сергеевич (RU) Иванчук Светлана Борисовна (RU) Никоноров Александр Николаевич (RU) Аркусский Леонид Юльевич (RU) | Патентообладатели: | Открытое акционерное общество "Национальный институт авиационных технологий" (ОАО "НИАТ") (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к технике покрытий деталей машин и материалов, более конкретно к вакуумной ионно-плазменной обработке поверхностей, и может быть использовано в оборудовании для нанесения покрытий на изделиях из металла и сплавов, диэлектриков и других материалов. Установка для вакуумной ионно-плазменной обработки поверхностей включает вакуумную камеру, источники плазмы, системы вакуумирования, подачи и регулирования расхода газа, источники питания и блок управления.
|