|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЙ РЕАКТОР НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ И ОСАЖДЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ |  |
Номер публикации патента: 2293796 |  |
| Имя заявителя: | Институт микроэлектроники и информатики РАН (RU) | | Изобретатели: | Амиров Ильдар Искандерович (RU)
Изюмов Михаил Олегович (RU)
Морозов Олег Валентинович (RU) | | Патентообладатели: | Институт микроэлектроники и информатики РАН (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области технологии микроэлектроники, микронанотехнологии, а именно к конструкции плазмохимического реактора, в котором производятся плазмохимические процессы травления и осаждения различных материалов. Плазмохимический реактор включает реакционную камеру, индуктор, держатель подложки, металлический тонкостенный цилиндрический экран и теплоотводящие стойки, свойства которых определяют скорость изменения температуры экрана и время установления его стационарной температуры.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента