|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ДАТЧИК ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ЖИДКОСТЕЙ И ГАЗОВ |  |
Номер публикации патента: 2291447 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01P005/12 G01F001/688 H01L021/44 | | Аналоги изобретения: | C.L. Johnson, K.D. Wise and J.W. Schwani "A thin-film gas detector for semiconductor process gases. Digest Inf. Conf. IEDM 88, p.662-665. SU 987508 А, 07.01.1983. JP 04-158520, 01.06.1992. JP 62-210648, 16.09.1987. SU 1615584 A1, 23.12.1990. US 5084694 A, 28.01.1992. RU 2065602 C1, 20.08.0996. |
| Имя заявителя: | ООО ДЕЛОВОЙ ЦЕНТР "Кронштадт" (RU) | | Изобретатели: | Берёзкин Валерий Алексеевич (RU)
Матвеева Надежда Константиновна (RU)
Мушта Виктор Михайлович (RU)
Певгов Вячеслав Геннадьевич (RU)
Шкуропат Иван Георгиевич (RU) | | Патентообладатели: | ООО ДЕЛОВОЙ ЦЕНТР "Кронштадт" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области микроэлектронных и микромеханических устройств и может быть использовано в качестве датчиков расхода и изменения уровней жидкостей и газов. Сущность: в кристалле датчика выполнены дополнительные сквозные отверстия. На поверхности отверстий выполнен диэлектрический слой, на который нанесен металлический слой.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента