|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП, СОВМЕЩЕННЫЙ С УСТРОЙСТВОМ СРЕЗАНИЯ ТОНКИХ СЛОЕВ ОБЪЕКТА |  |
Номер публикации патента: 2287129 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01B001/00 | | Аналоги изобретения: | RU 2233490 C1, 27.07.2004. RU 2161343 С2, 27.12.2000. US 5461907A, 31.10.1995. JP 2004212304, 29.07.2004. JP 2004239765, 26.08.2004. |
| Имя заявителя: | ЗАО "НТ-МДТ" (RU) | | Изобретатели: | Быков Виктор Александрович (RU)
Ефимов Антон Евгеньевич (RU)
Саунин Сергей Алексеевич (RU)
Фюрст Леонид Георгиевич (RU) | | Патентообладатели: | ЗАО "НТ-МДТ" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам измерения с помощью сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) рельефа, линейных размеров, физических характеристик поверхности и распределения этих характеристик в объеме объекта путем срезания тонких слоев объекта с последующим исследованием вновь образованных поверхностей объекта.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента