На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗДЕЛИЯ, СОДЕРЖАЩЕГО КРЕМНИЕВУЮ ПОДЛОЖКУ С ПЛЕНКОЙ ИЗ КАРБИДА КРЕМНИЯ НА ЕЕ ПОВЕРХНОСТИ | |
Номер публикации патента: 2286617 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01L021/205 | Аналоги изобретения: | JP 2004193631 А, 08.07.2004. SU 552860 A1, 20.06.2000. RU 2162117 С2, 20.01.2001. US 6773508 А, 10.08.2004. |
Имя заявителя: | ФОНД ПОДДЕРЖКИ НАУКИ И ОБРАЗОВАНИЯ (RU),ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "УПРАВЛЯЮЩАЯ КОМПАНИЯ "СОЗВЕЗДИЕ" (ООО "УК "СОЗВЕЗДИЕ") (RU) | Изобретатели: | Гордеев Сергей Константинович (RU) Корчагина Светлана Борисовна (RU) Кукушкин Сергей Арсеньевич (RU) Осипов Андрей Викторович (RU) | Патентообладатели: | ФОНД ПОДДЕРЖКИ НАУКИ И ОБРАЗОВАНИЯ (RU) ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "УПРАВЛЯЮЩАЯ КОМПАНИЯ "СОЗВЕЗДИЕ" (ООО "УК "СОЗВЕЗДИЕ") (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к технологии получения полупроводниковых материалов и может быть использовано при создании полупроводниковых приборов. Техническим результатом изобретения является упрощение технологии изготовления изделия. Сущность изобретения: в способе изготовления изделия, содержащего кремниевую подложку с пленкой из карбида кремния на ее поверхности, включающем синтез пленки карбида кремния на поверхности подложки с использованием углерода, осаждаемого из углеродсодержащего материала на
|