На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКОГО ПОКРЫТИЯ НА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКУЮ ПОДЛОЖКУ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | |
Номер публикации патента: 2285742 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | C23C014/35 | Аналоги изобретения: | SU 138791 A, 1961. ИВАНОВСКИЙ Г.Ф. и др. Ионно-плазменная обработка материалов. Радио и связь, 1986, с.202. RU 2058428 C1, 20.04.1996. RU 2107970 C1, 27.03.1998. RU 2173733 C2, 20.09.2001. US 6420096 A, 16.07.2002. US 5685941 A, 11.11.1997. |
Имя заявителя: | Берлин Евгений Владимирович (RU) | Изобретатели: | Берлин Евгений Владимирович (RU) | Патентообладатели: | Берлин Евгений Владимирович (RU) |
Реферат | |
Изобретения относятся к плазменной технологии, в частности к способу и устройству для нанесения металлического покрытия на диэлектрическую подложку, и могут быть использованы для металлизации, размер области которой занимает небольшую часть общей поверхности подложки, элементов микромеханики, фильтров, линии задержки, интегральных микросхем и печатных плат.
|