|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ СКАНИРОВАНИЯ ОБЪЕКТОВ С ПОМОЩЬЮ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА |  |
Номер публикации патента: 2282902 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G12B021/00 G12B021/20 | | Аналоги изобретения: | RU 2002121274 A, 20.03.2004. RU 2233490 C1, 27.07.2004. JP 10300758, 13.11.1998. RU 2175761 C2, 10.11.2001. |
| Имя заявителя: | ЗАО "НТ-МДТ" (RU) | | Изобретатели: | Быков Виктор Александрович (RU)
Беляев Алексей Владимирович (RU)
Саунин Сергей Алексеевич (RU)
Соколов Дмитрий Юрьевич (RU)
Фюрст Леонид Георгиевич (RU) | | Патентообладатели: | ЗАО "НТ-МДТ" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к способам измерения с помощью сканирующего зондового микроскопа рельефа, линейных размеров и физических характеристик поверхности объектов в режимах сканирующего туннельного микроскопа, атомно-силового микроскопа, близкопольного оптического микроскопа и др.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента