|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ ИЗ КАТАЛИТИЧЕСКИХ МЕТАЛЛОВ НА ПОВЕРХНОСТИ СЕНСОРА |  |
Номер публикации патента: 2282227 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G03F007/16 | | Аналоги изобретения: | US 4315984 А, 16.02.1982. US 4001061 А, 04.01.1977. RU 2094902 С1, 27.10.1997. RU 2076475 С1, 27.03.1997. |
| Имя заявителя: | ООО ДЕЛОВОЙ ЦЕНТР "Кронштадт" (RU) | | Изобретатели: | Березкин Валерий Алексеевич (RU)
Матвеева Надежда Константиновна (RU)
Матвеенко Юрий Алексеевич (RU)
Мушта Виктор Михайлович (RU) | | Патентообладатели: | ООО ДЕЛОВОЙ ЦЕНТР "Кронштадт" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области технологии изготовления микроэлектронных и микромеханических устройств и может быть использовано при изготовлении датчиков перемещения движущихся сред, газовых анализаторов термометров сопротивления и т.д. Технический результат изобретения состоит в том, что способ формирования элементов из каталитических металлов на поверхностях сенсоров позволяет получить хорошую адгезию металлов к поверхности и стабильные C-V характеристики МДП-структур, что обеспечивает повышен
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента