|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ЛОДОЧКА ДЛЯ УДЕРЖАНИЯ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ |  |
Номер публикации патента: 2280916 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/68 | | Аналоги изобретения: | FR 2248764 А, 16.05.1975. SU 1190871 A1, 15.07.1984. SU 1018180 A, 15.05.1983. SU 957321 A, 07.09.1982. |
| Имя заявителя: | Открытое акционерное общество "НИИ молекулярной электроники и завод "МИКРОН" (RU) | | Изобретатели: | Скоробогатов Михаил Александрович (RU)
Долгов Алексей Николаевич (RU)
Гурский Юрий Николаевич (RU) | | Патентообладатели: | Открытое акционерное общество "НИИ молекулярной электроники и завод "МИКРОН" (RU) |
Реферат | |
Лодочка для удержания кремниевых пластин при изготовлении полупроводниковых приборов относится к устройствам, предназначенным для удержания кремниевых пластин во время термообработки. Лодочка состоит из четырех параллельных кварцевых стержней с нарезанными в них пазами, соединенных между собой определенным образом, где два стержня расположены выше по отношению к двум другим стержням, причем горизонтальные оси поперечного сечения двух верхних стержней находятся на высоте горизонтальной оси кремние
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента