|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СОСТАВ ПОЛИРУЮЩЕЙ СУСПЕНЗИИ |  |
Номер публикации патента: 2280056 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C09G001/02 | | Аналоги изобретения: | ГОТРА З.Ю. Технология микроэлектронных устройств: Справочник. М.: Радио и связь, 1991, с.85. SU 1763468 A1, 23.09.1992. SU 457712 A1, 11.03.1975. SU 164375 A1, 17.08.1964. RU 2056450 C1, 20.03.1996. RU 2064972 С1, 10.08.1996. SU 1781270 A1, 15.12.1992. SU 232470 A1, 06.05.1969. |
| Имя заявителя: | Учреждение образования "Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины" (BY) | | Изобретатели: | Гайшун Владимир Евгеньевич (BY)
Тюленкова Ольга Ивановна (BY)
Мельниченко Игорь Михайлович (BY)
Потапенок Янина Александровна (BY) | | Патентообладатели: | Учреждение образования "Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины" (BY) |
Реферат | |
Изобретение относится к составам полирующих суспензий на основе диоксида кремния и может быть использовано при обработке пластин монокристаллического кремния. В состав полирующей суспензии, содержащей дистиллированную воду, дисперсный диоксид кремния и этилендиамин, дополнительно введена натриевая соль карбоксиметилцеллюлозы, в качестве дисперсного диоксида кремния используют диоксид кремния со средним размером частиц 10÷40 нм, а компоненты суспензии взяты в следующих мольных частях: дистилл
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента