|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ ПРОЦЕССА УДАЛЕНИЯ РЕЗИСТА В УСТАНОВКЕ ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИКА С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПУЧКА ПЛАЗМЫ |  |
Номер публикации патента: 2279732 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01J037/305 H01L021/3065 | | Аналоги изобретения: | WO 9940609 A1, 12.08.1999. US 5534751 A1, 09.07.1996. US 6026762 A1, 22.02.2000. WO 9704476 A3, 06.02.1997. SU 1702825 A1, 28.02.1994. RU 2131631 С1, 10.06.1999. |
| Имя заявителя: | ЛАМ РИСЁРЧ КОРПОРЕЙШН (US) | | Изобретатели: | МАРКС Джеффри (US) | | Патентообладатели: | ЛАМ РИСЁРЧ КОРПОРЕЙШН (US) |
Реферат | |
Изобретение относится к области изготовления полупроводниковых приборов. Объектами изобретения являются способ и устройство для травления диэлектрика, удаления маски для травления и очистки камеры травления. В камере травления 40 размещают полупроводниковую пластину 56. Выполненный на полупроводниковой пластине диэлектрик 58 подвергают травлению, используя локальную плазму, полученную с помощью специального приспособления для получения локальной плазмы в камере травления.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента