|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2278447 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L029/84 G01L009/04 | | Аналоги изобретения: | RU 2035089 C1, 10.05.1995. JP 7007160 A, 10.01.1995. US 5677560 A, 14.10.1997. |
| Имя заявителя: | Госудаственное учреждение Научно-производственный комплекс "Технологический центр" Московского государственного института электронной техники (ГУ НПК "ТЦ" МИЭТ) (RU) | | Изобретатели: | Зимин Виктор Николаевич (RU)
Резнев Алексей Алексеевич (RU)
Сауров Александр Николаевич (RU)
Шелепин Николай Алексеевич (RU) | | Патентообладатели: | Госудаственное учреждение Научно-производственный комплекс "Технологический центр" Московского государственного института электронной техники (ГУ НПК "ТЦ" МИЭТ) (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к измерительной технике. Технический результат изобретения: уменьшение погрешностей преобразователя давления (ПД), таких как температурный дрейф, температурный гистерезис выходного сигнала тестовой схемы, и повышение точностных и надежностных характеристик ПД. Сущность: преобразователь давления содержит кремниевый кристалл n-типа проводимости с плоской рабочей поверхностью и тонкой мембраной в центре кристалла с обратной стороны, на рабочей поверхности которого сформированы
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента