|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ФОКУСИРОВАННОЕ ОСАЖДЕНИЕ ПАРА |  |
Номер публикации патента: 2277137 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/30 | | Аналоги изобретения: | US 2004134430 A, 15.07.2004. US 2005000444 A, 06.01.2005. RU 2060298 C1, 20.05.1996. RU 2200058 C1, 10.03.2003. RU 2211258 С2, 27.08.2003. JP 05-179444 A, 20.07.1993. JP 03-207860 A, 11.09.1991. JP 62-167873 A, 27.07.1987. DE 199913809 A, 07.09.2000. |
| Имя заявителя: | Махоткин Александр Васильевич (UA) | | Изобретатели: | Махоткин Александр Васильевич (UA) | | Патентообладатели: | Махоткин Александр Васильевич (UA) |
Реферат | |
Изобретения относятся к области металлургии, в частности к способу и оборудованию электронно-лучевого испарения и осаждения материалов. Процесс испарения и процесс осаждения проводят в двух различных камерах, соединенных между собой отверстием. В камерах поддерживают различное давление. Вокруг отверстия создают кольцевую сверхзвуковую струю газа, поддерживающую перепад давлений между камерами и позволяющую потоку пара проходить через отверстие из одной камеры в другую.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента