|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК |  |
Номер публикации патента: 2276697 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/22 C23C014/16 | | Аналоги изобретения: | RU 2034667 C1, 10.05.1995. RU 2010032 C1, 30.03.1994. RU 2150154 C1, 27.05.2000. RU 2045114 C1, 27.09.1995. RU 2034667 C1, 10.05.1995. ЕР 0860404 А, 26.08.1998. |
| Имя заявителя: | Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской Академии Наук (ИПТМ РАН) (RU) | | Изобретатели: | Старков Виталий Васильевич (RU)
Вяткин Анатолий Федорович (RU)
Волков Владимир Тимофеевич (RU) | | Патентообладатели: | Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской Академии Наук (ИПТМ РАН) (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области получения тонких металлических пленок и может быть использовано как для получения свободных сверхтонких металлических пленок, например, сусального золота, платины и др., так и последующего нанесения этих пленок на разнообразные подложки. Предложенный способ включает нанесение слоя благородного металла на пластины монокристаллического кремния приборного качества с последующим получением пленки путем ее отделения от подложки.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента