|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| КАНТИЛЕВЕР С ВИСКЕРНЫМ ЗОНДОМ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2275591 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01B007/34 C30B029/62 H01L021/20 | | Аналоги изобретения: | US 5856672 A1, 05.01.1999. EP 0615124 A2, 14.09.1994. RU 2072735 C1, 27.01.1997. RU 2099808 C1, 20.12.1997. |
| Имя заявителя: | Гиваргизов Михаил Евгеньевич (RU) | | Изобретатели: | Гиваргизов Евгений Инвиевич (RU)
Оболенская Лидия Николаевна (RU)
Степанова Алла Николаевна (RU)
Машкова Евгения Сергеевна (RU)
Гиваргизов Михаил Евгеньевич (RU) | | Патентообладатели: | Гиваргизов Михаил Евгеньевич (RU) |
Реферат | |
Использование: в микроскопах. Сущность: предлагается создавать зонды для зондовой микроскопии из кремниевых вискеров, выращенных по механизму пар-жидкость-кристалл на кантилеверах с кристаллографической ориентацией (111). Такие кантилеверы изготовляют из структур кремния-на-изоляторе, которые создают сплавлением кремниевых пластин, причем одна из пластин имеет ориентацию (111).
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента