На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКОГО ИЗМЕРЕНИЯ ОТКЛОНЕНИЯ ФОРМЫ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ И СИСТЕМА ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | |
Номер публикации патента: 2263279 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G01B009/02 G01B011/24 | Аналоги изобретения: | Руководство по эксплуатации Ю-30.60.050 РЭ. Интерферометр ИКД-110.О.М. Модель Mark III, 23.01.1995. |
Имя заявителя: | Открытое акционерное общество "ЛОМО" (RU) | Изобретатели: | Скворцов Ю.С. (RU) Трегуб В.П. (RU) Герловин Б.Я. (RU) | Патентообладатели: | Открытое акционерное общество "ЛОМО" (RU) |
Реферат | |
Способ основан на направлении на контролируемую поверхность когерентного пучка лучей, помещении в ход лучей образцовой поверхности, формировании и регистрации интерферограммы разности хода лучей и ее дальнейшей обработки. При этом на контролируемую и на образцовую поверхности направляют второй когерентный пучок лучей и формируют вторую интерферограмму разности хода лучей, вводят в разность хода лучей второй интерферограммы дополнительную разность хода лучей по сравнению с разностью хода лучей пер
|