Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


СПОСОБ ЛЕГИРОВАНИЯ КРЕМНИЯ ФОСФОРОМ И ВЫРАЩИВАНИЯ ОКСИДА НА КРЕМНИИ В ПРИСУТСТВИИ ПАРА

Номер публикации патента: 2262773

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 2002128921/28 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: H01L021/22    
Аналоги изобретения: US 4441247 А, 10.04.1984. US 4028150 А, 07.06.1977. US 3931056 А, 06.01.1976. RU 2111575 C1, 20.05.1998. RU 2094901 С1, 27.10.1997. 

Имя заявителя: ТЕКНЕГЛАС, ИНК. (US) 
Изобретатели: РЭПП Джеймс Е. (US)
РОГЕНСКИ Расселл Б. (US) 
Патентообладатели: ТЕКНЕГЛАС
ИНК. (US) 

Реферат


Использование: для легирования кремния фосфором с использованием твердого источника легирующего вещества. Сущность изобретения: способ легирования кремниевой пластины включает размещение кремниевой пластины в пространственном отношении к твердому источнику фосфорного легирующего вещества при первой температуре в течение времени, достаточного для осаждения фосфорсодержащего слоя на поверхности пластины, и последующее окисление легированной кремниевой пластины влажным кислородом или пирогенным паро


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"