|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СИСТЕМА КОНТРОЛЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ДЛЯ ЛАЗЕРОВ, ИСПОЛЬЗУЕМЫХ В ЛИТОГРАФИИ |  |
Номер публикации патента: 2258253 |  |
| Имя заявителя: | САЙМЕР, ИНК. (US) | | Изобретатели: | ПЭЙТЛ Партив С. (US)
КОНВЭЙ Джозеф Э. (US)
ТАНТРА Мулджади (US)
МОЭН Джеффри В. (US)
КАРЛЕСИ Джейсон Р. (US)
ГРИН Роджер Л. (US)
УОТСОН Том А. (US)
РОУАН Кристофер Дж. (US) | | Патентообладатели: | САЙМЕР
ИНК. (US) |
Реферат | |
Изобретение относится к системам контроля и, в частности, к системам контроля работы лазеров. Его использование позволяет получить технический результат в виде создания более совершенной системы контроля лазеров для литографии на предприятиях по производству интегральных микросхем. Технический результат достигается за счет того, что каждый лазер на каждом производственном предприятии связан с соответствующим сервером терминала, при этом на каждом производственном предприятии серверное устройство
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента