|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| МНОЖИТЕЛЬ ИЗОБРАЖЕНИЯ РЕНТГЕНОШАБЛОНА |  |
Номер публикации патента: 2256207 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G03B042/02 | | Аналоги изобретения: | RU 2055418 C1, 27.02.1996. RU 2077823 C1, 20.04.1997. RU 28285 U1, 10.03.2003. RU 2082257 C1, 20.06.1997. SU 1217196 A1, 10.05.1996. SU 1611155 А1, 07.03.1992. SU 1064352 A1, 30.12.1983. US 4939052 A, 03.07.1990. GB 1209788 A, 21.10.1970. ЕР 1139706 А2, 04.01.2001. ПРОХОРОВ А.М. БСЭ. М.: Издательство “Советская энциклопедия”, т.23, с.391. |
| Имя заявителя: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Комсомольское-на-Амуре авиационное производственное объединение им. Ю.А. Гагарина" (RU) | | Изобретатели: | Уваров Н.И. (RU)
Голованов М.Н. (RU)
Марьин Б.Н. (RU) | | Патентообладатели: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Комсомольское-на-Амуре авиационное производственное объединение им. Ю.А. Гагарина" (RU) |
Реферат | |
Использование: для производства компьютерных микросхем с помощью рентгенолитографии. Сущность: заключается в том, что множитель изображения рентгеношаблона включает источник рентгеновского излучения, состоящую из двух частей рентгеновскую линзу, пластину с рентгенорезистным слоем, рентгеношаблон. Рентгеношаблон установлен со смещением от оси призмы на одном из торцов полой трехгранной призмы с рентгеноотражающими поверхностями, при этом в другом торце установлена рентгенопоглощающая перегородка с
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента