|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН |  |
Номер публикации патента: 2249881 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/302 | | Аналоги изобретения: | SU 1771164 A1, 30.03.1994. SU 1827957 A1, 20.03.1996. RU 2071145 C1, 27.12.1996. DE 10217374 A1, 18.06.1003. |
| Имя заявителя: | Государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Пульсар" (RU) | | Изобретатели: | Рогов В.В. (RU)
Константинов П.Б. (RU) | | Патентообладатели: | Государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Пульсар" (RU) |
Реферат | |
Использование: в полупроводниковой технике при изготовлении супертонких полупроводниковых структур и мембран. Сущность изобретения: в способе обработки полупроводниковых пластин, включающем наклейку пластин на планшайбу с использованием прижима, механическую обработку поверхности пластин, планшайбу выполняют, по крайней мере, с двумя зонами для наклейки пластин, разделенными друг от друга глухими пазами, на одну из этих зон наклеивают стопорные пластины из материала с твердостью, большей твердост
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента