Промышленная Сибирь Ярмарка Сибири Промышленность СФО Электронные торги НОУ-ХАУ Электронные магазины Карта сайта
 
Ника
Ника
 

Поиск патентов

Как искать?
Реферат
Название
Публикация
Регистрационный номер
Имя заявителя
Имя изобретателя
Имя патентообладателя

    





Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»


СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО МАТЕРИАЛА НА ДИЭЛЕКТРИКЕ (ВАРИАНТЫ)

Номер публикации патента: 2248069

Вид документа: C1 
Страна публикации: RU 
Рег. номер заявки: 2002129131/28 
  Сделать заказПолучить полное описание патента

Редакция МПК: 
Основные коды МПК: H01L021/76    
Аналоги изобретения: US 5374564 А, 20.12.1994. RU 2164719 С1, 27.03.2001. DE 19753494 А1, 01.10.1998. US 6323109 В1, 27.11.2001. US 6306730 А2, 23.10.2001. 

Имя заявителя: Открытое акционерное общество "НИИ молекулярной электроники и завод "Микрон" (RU) 
Изобретатели: Горнев Е.С. (RU)
Громов Д.Г. (RU)
Дракин К.А. (RU)
Евдокимов В.Л. (RU)
Гаврилов С.А. (RU)
Лукасевич М.И. (RU)
Мочалов А.И. (RU)
Сулимин А.Д. (RU) 
Патентообладатели: Открытое акционерное общество "НИИ молекулярной электроники и завод "Микрон" (RU) 

Реферат


Использование: в микроэлектронике, а именно в технологии изготовления структур тонких пленок полупроводникового материала на диэлектрике, используемых в производстве СБИС, в частности структур кремний-на-диэлектрике. Технический результат - повышение качества структур тонких пленок полупроводникового материала на диэлектрике за счет создания сплошной границы между пластинами без образования полостей.


Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь
Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"