|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПЕКТРАЛЬНЫЙ ЭЛЛИПСОМЕТР |  |
Номер публикации патента: 2247969 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01N021/21 G01J004/04 | | Аналоги изобретения: | NGUYEN N.V. et al. Error correction for calibration and data reduction in rotating-polarizer ellipsometry: applications to a novel multichannel ellipsometer, J. Opt. Soc. Am., A, Vol.8, №6/June, 1991, p.919. SU 1495648 A1, 23.07.1989. SU 1695145 A1, 30.11.1991. SU 1369471 A1, 07.12.1991. EP 1202033 А2, 02.05.2002. ЕР 0144115 А2, 12.06.1985. |
| Имя заявителя: | Институт физики полупроводников Объединенного Института физики полупроводников Сибирского отделения РАН (RU) | | Изобретатели: | Дулин С.А. (RU)
Рыхлицкий С.В. (RU) | | Патентообладатели: | Институт физики полупроводников Объединенного Института физики полупроводников Сибирского отделения РАН (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к оптикоэлектронному приборостроению и предназначено для измерения и исследования тонкопленочных структур и оптических констант поверхностей различных материалов путем анализа поляризации отраженного образцом светового пучка. В спектральном эллипсометре, содержащем последовательно расположенные вдоль оптической оси источник излучения, коллимирующую оптику, поляризатор, анализатор, полихроматор с фоторегистратором, электрически связанным с блоком управления и обработки сигнал
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента