|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ПОДДЕРЖАНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ ОБЪЕКТА ДЛЯ СКАНИРУЮЩИХ ЗОНДОВЫХ МИКРОСКОПОВ |  |
Номер публикации патента: 2244948 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G02B021/24 H01L023/34 H05B003/06 | | Аналоги изобретения: | RU 2169440 С2, 20.06.2001. RU 2169401 С2, 20.06.2001. US 4162401 А, 24.07.1979. CN 1344952 А, 17.04.2002. US 5857341 А, 12.01.1999. JP 10132833 А, 22.05.1998. US 5441343 А, 15.08.1995. |
| Имя заявителя: | ЗАО "НТ-МДТ" (RU) | | Изобретатели: | Божко С.И. (RU)
Быков В.А. (RU)
Ионов А.М. (RU)
Саунин С.А. (RU)
Соколов Д.Ю. (RU) | | Патентообладатели: | ЗАО "НТ-МДТ" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а более конкретно к устройствам, обеспечивающим поддержание температуры образцов в широком диапазоне при измерении и других технологических операциях в сканирующих зондовых микроскопах (СЗМ). Предлагаемое изобретение целесообразно использовать в вакуумном оборудовании.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента