|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОЗДАНИЯ ПЛОТНОГО ТУМАНА ИЗ МИКРОМЕТРОВЫХ И СУБМИКРОМЕТРОВЫХ КАПЕЛЬ |  |
Номер публикации патента: 2242291 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | B05B017/00 | | Аналоги изобретения: | SU 835515 A, 07.06.1981. |
| Имя заявителя: | КОММИССАРИАТ А Л'ЭНЕРЖИ АТОМИК (FR) | | Изобретатели: | ШМИДТ Мартин (FR)
СЮБЛЕМОНТЬЕ Оливье (FR) | | Патентообладатели: | КОММИССАРИАТ А Л'ЭНЕРЖИ АТОМИК (FR) |
Реферат | |
Данное изобретение относится к способу и устройству для создания плотного тумана из микрометровых и субмикрометровых капель и может быть применено для генерирования излучения в сверхультрафиолетовом диапазоне спектра, который применяется, в частности, в литографии. Согласно изобретению, находящуюся под давлением жидкость (4) нагнетают в форсунку (10) с очень небольшим диаметром, открытую в вакуумную камеру.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента