|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИМПУЛЬСНО - ПЕРИОДИЧЕСКОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ И ПЛАЗМЕННОГО ОСАЖДЕНИЯ ПОКРЫТИЙ |  |
Номер публикации патента: 2238999 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23C014/48 H01J037/317 | | Аналоги изобретения: | A.I.RYABCHIKOV. Suf. Coat. Techonol. 96,9, 1997. RU 2141004 C1, 10.11.1999. SU 1412517 A, 12.02.1987. SU 1565288 A1, 15.09.1994. ЕР 0860854 А, 26.08.1998. US 5583344 A, 20.12.1996. |
| Имя заявителя: | Государственное научное учреждение "Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете" (RU) | | Изобретатели: | Рябчиков А.И. (RU)
Рябчиков И.А. (RU)
Степанов И.Б. (RU) | | Патентообладатели: | Государственное научное учреждение "Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к радиационному материаловедению и предназначено для изменения механических, химических, электрофизических свойств приповерхностных слоев металлов, сплавов, полупроводников, диэлектриков и других материалов путем нанесения покрытий или изменения состава поверхностных слоев ионной имплантацией.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента